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一
、高纯多晶硅
1．概述
硅是地球上含量最丰富的元素之～ ，约占地壳质量的
25．8％ ，仅次于氧元素，居第二位。硅在地球上不存在单质状
态，基本上以氧化态存在于硅酸盐或二氧化硅中，其表现形态
为各种各样的岩石，如花岗岩、石英岩等。
硅是一种半导体元素，元素符号为Sj，位于元素周期表
的第三周期第四主族，原子序数为1 4，原子量为28．0 855。
硅材料的原子密度为5．OOx1022／cm。，熔点为1 41 5~C，沸
点为2 355~(2。它在常温(300K)下是具有灰色金属光泽
的固体，属脆性材料。硅材料有多种形态，按晶体结构，可
分为单晶硅、多晶硅和非晶硅
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