文章介绍了采用多层微米级NiFe 合金薄膜叠层磁心,研制开发的一种供给高密度封装电源使用的超低高度(约0.4mm)平面螺旋电感器。提出了平面螺旋电感器叠层结构和制造工艺,采用简单的保护性铜腐蚀工艺,获得了7 层1.8μm/ 层厚度的薄膜叠装成的磁心。用该叠层磁心和螺旋线圈一起构成了混合型平面螺旋电感器。整个电感器的平面尺寸为40×15mm。经实测的电性能参数可说明其适用于低高度高密度产品的封装要求。该电感器用于工作频率为2.2MHz 的5~10V 的升压变换器中,输出功率达到2W,总效率超过70%。
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