突破性MEMS开关技术的详细资料说明

过去 30 年来，MEMS 开关一直被标榜为性能有限的机电继电器的出色替代器件，因为它易于使用，尺寸很小，能够以极小的 损耗可靠地传送 0 Hz/dc 至数百 GHz 信号，有望彻底改变电子系统的实现方式。这种性能优势会对大量不同的设备和应用产 生重要影响。在 MEMS 开关技术的帮助下，很多领域都将达到前所未有的性能水准和尺寸规格，包括电气测试与测量系统、 防务系统应用、医疗保健设备。

　　目前的开关技术都或多或少存在缺点，没有一种技术是理想解决方案。继电器的缺点包括带宽较窄、动作寿命有限、通道数有限以及封装尺寸较大。与继电器相比，MEMS 技术一直就有实现最高水平 RF 开关性能的潜力，其可靠性要高出好几个数量级，而且尺寸很小。但是，难以通过大规模生产来大批量提供可靠产品的挑战，让许多试图开发 MEMS 开关技术的公司停滞不前。Foxboro Company 是最早开始 MEMS 开关研究的公司之一，其于 1984 年申请了世界最早的机电开关专利之一。ADI 公司自 1990 年开始通过一些学术项目涉足 MEMS 开关技术研究。到 1998 年，ADI 公司终于开发出一种 MEMS 开关设计，并根据该设计制作了一些早期原型产品。2011 年，ADI 公司大幅增加了 MEMS 开关项目投入，从而推动了自有先进 MEMS 开关制造设施的建设。现在，ADI 公司已能够满足业界一直以来的需求：量产、可靠、高性能、小尺寸的 MEMS 开关取代衰老的继电器技术。 ADI 公司与 MEMS 技术有着深厚的历史渊源。世界上第一款成功开发、制造并商用的 MEMS 加速度计是 ADI 公司于 1991 年发布的 ADXL50 加速度计。ADI 公司于 2002 年发布第一款集成式 MEMS 陀螺仪 ADXRS150。以此为开端，ADI 公司建立了庞大的 MEMS 产品业务和无可匹敌的高可靠性、高性能 MEMS 产品制造商声誉。ADI 公司已为汽车、工业和消费电子应用交付了逾 10 亿只惯性传感器。正是这种优良传统所带来的经验和信念将 MEMS 开关技术变为现实。