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介绍了一种新型的三端镍钴薄膜磁敏传感器的设计、制造及工作原理,并给出了该传感器性能指标。
关键词:磁敏传感器;设计与制造;工作原理
Abstract :The design and fabrication of Ni2Co magnetic2sensing sensor which works on the principle of magnetoresistance are de2 scribed. The leading features of this sensor include fine resolution , contactless ,small ,lightweight and long service lift . The results of the performance test show that the resolution factor of the sensor has 1. 6 ms/ ℃.
Key words :magnetoresistance sensor ;design and fabrication ;work2 ing principle
关键词:磁敏传感器;设计与制造;工作原理
Abstract :The design and fabrication of Ni2Co magnetic2sensing sensor which works on the principle of magnetoresistance are de2 scribed. The leading features of this sensor include fine resolution , contactless ,small ,lightweight and long service lift . The results of the performance test show that the resolution factor of the sensor has 1. 6 ms/ ℃.
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