电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
本实用新型公开一种适用于 PVT 法生长 SiC 晶体系统的测温结构，所述系统具有用坩埚围成的晶体生长用晶体生长室，配置于生长室室内顶部的籽晶托，和在所述晶体生长室外围的保温层 ；所述的测温结构包括设置于生长室顶部的籽晶托上方的保温层上并能够通过其利用高温红外测温计测量晶体生长室内温度的开孔 ；以及插通所述开孔形成于籽晶托上的测温管。本实用新型的测温结构可以在晶体生长过程中准确测量坩埚顶部温度，从而实现精确控温，并且避免测温孔堵塞导致的温度梯度变化，提高晶体生长的成品率。
1. 一种适用于 PVT 法生长 SiC 晶体系统的测温结构，所述系统具有用坩埚围成的晶体生长用晶体生长室，配置于生长室室内顶部的籽晶托，和在所述晶体生长室外围的保温层 ；其特征在于，所述测温结构包括设置于生长室顶部的籽晶托上方的保温层上并能够通过其利用高温红外测温计测量晶体生长室内温度的开孔 ；以及插通所述开孔固定于籽晶托上的测温管。 2. 根据权利要求 1 所述的测温结构，其特征在于，所述测温管由不低于 2500℃的耐高温材料制成。 3. 根据权利要求 2 所述的测温结构，其特征在于，所述耐高温材料为石墨材料或钽。 4. 根据权利要求 1 所述的测温结构，其特征在于，所述测温管高于保温层或与保温层顶部齐平。 5. 根据权利要求 1 所述的测温结构，其特征在于，所述测温管内径为 5mm-30mm，测温管壁厚为 1mm-15mm。 6.根据权利要求1至5中任一项所述的测温结构，其特征在于，所述测温管插入并固定在籽晶托上方设置的有底中心孔内。 7.根据权利要求1至5中任一项所述的测温结构，其特征在于，所述测温管套接并固定在籽晶托上方设置的凸台上。 8.根据权利要求1至5中任一项所述的测温结构，其特征在于，所述测温管与籽晶托一体地成型为一个整体。
- PVT法碳化硅SIC单晶生长工艺真空压力控制装置的解决方案
- 适用于开关电源的一种分布结构变压器设计
- 一种适用于模式识别的新型神经网络 5次下载
- 适用于Blackfin的安全、可现场升级的操作系统体系结构
- 一种适用于动态场景的SLAM方法 21次下载
- 一种适用于FPGA实现的盲均衡算法 7次下载
- 一种适用于软件无线电的数字调制与解调算法的详细说明 19次下载
- 使用PVT生长SiC晶体的籽晶固定方法详细说明 17次下载
- 一种适用于钢管厂的自动称重及重量分摊系统_郭雅默 0次下载
- 一种适用于任意余数基的高性能后向转换结构_杨鹏 0次下载
- 一种适用于SoC的瞬态增强型线性稳压器_张琪 0次下载
- 一种特别适用于片上LDO系统的过流保护威廉希尔官方网站 21次下载
- 一种适用于医学领域的频率可调滤波器 0次下载
- 一种适用于多规格定子绕组制作的绝缘内圈 0次下载
- 一种适用于无线传感器网络的短加载螺旋天线设计
- 物理气相传输法生长SiC晶圆中的缺陷和测试 2365次阅读
- 8英寸SiC晶体生长热场的设计与优化 1697次阅读
- 介绍一种基于数据包交换的互连体系结构RapidIO 1159次阅读
- 高效SiC功率器件的演进 899次阅读
- 稳压高侧驱动器（适用于LED尾灯应用）的实施方案 1632次阅读
- 基于一种适用于户外工作环境的彩色LED显示屏系统设计 1367次阅读
- 基于一种适用于SSL产品的LED控制威廉希尔官方网站 设计 1071次阅读
- 米尔科技ARM体系结构与编程介绍 1884次阅读
- OpenAl提出了一种适用于文本、图像和语音的稀疏Transformer 3154次阅读
- 适用于测控领域的4种实时操作系统对比分析 3531次阅读
- 适用于大功率动力马达逆变器的IGBT模块 7476次阅读
- 一种适用于MEMS振荡器的制造工艺介绍与分析 2877次阅读
- 一种高精度低成本测温方案详解 3794次阅读
- 一种适用于锂电池的电流监测威廉希尔官方网站 设计 2255次阅读
- 一种基于B/S结构与C/S结构结合的新体系结构 1236次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1HFSS电磁仿真设计应用详解PDF电子教程免费下载
- 24.30 MB | 126次下载 | 1 积分
- 2雷达的基本分类方法
- 1.25 MB | 4次下载 | 4 积分
- 3电感技术讲解
- 827.73 KB | 2次下载 | 免费
- 4从 MSP430™ MCU 到 MSPM0 MCU 的迁移指南
- 1.17MB | 2次下载 | 免费
- 5有源低通滤波器设计应用说明
- 1.12MB | 2次下载 | 免费
- 6RA-Eco-RA2E1-48PIN-V1.0开发板资料
- 35.59 MB | 2次下载 | 免费
- 7钜泉电能计量芯片选型指南（单相、三相电能计量、MCU、SOC）2024
- 2.67 MB | 1次下载 | 免费
- 8BQ25798+TPS25221锂电池和超级电容充电方案
- 1.04MB | 1次下载 | 免费
本月
- 12024年工控与通信行业上游发展趋势和热点解读
- 2.61 MB | 763次下载 | 免费
- 2HFSS电磁仿真设计应用详解PDF电子教程免费下载
- 24.30 MB | 126次下载 | 1 积分
- 3继电保护原理
- 2.80 MB | 36次下载 | 免费
- 4正激、反激、推挽、全桥、半桥区别和特点
- 0.91 MB | 32次下载 | 1 积分
- 5labview实现DBC在界面加载配置
- 0.57 MB | 21次下载 | 5 积分
- 6在设计中使用MOSFET瞬态热阻抗曲线
- 1.57MB | 15次下载 | 免费
- 7GBT 4706.1-2024家用和类似用途电器的安全第1部分:通用要求
- 7.43 MB | 13次下载 | 免费
- 8PADS-3D库文件
- 2.70 MB | 10次下载 | 2 积分
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935113次下载 | 10 积分
- 2开源硬件-PMP21529.1-4 开关降压/升压双向直流/直流转换器 PCB layout 设计
- 1.48MB | 420061次下载 | 10 积分
- 3Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233084次下载 | 10 积分
- 4威廉希尔官方网站 仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191360次下载 | 10 积分
- 5十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183329次下载 | 10 积分
- 6labview8.5下载
- 未知 | 81578次下载 | 10 积分
- 7Keil工具MDK-Arm免费下载
- 0.02 MB | 73804次下载 | 10 积分
- 8LabVIEW 8.6下载
- 未知 | 65985次下载 | 10 积分
工商网监
评论