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基于运动控制技术的非球面测量系统:为满足非球面光学元件表面精度的测量要求,设计和实现了一种高效数控非球面测量系统. 系统基于运动控制技术,构建了四轴联动的测量工作平台. 根据数据采集原理,实现对非球面工件表面形位参数进行连续采样. 整个系统采用工控微机作为上位机非实时控制,下位机采用高速DSP 进行实时控制. 在Windows 操作系统下,用Visaul C + + 开发工具完成了测量系统的软件开发. 最后通过实验对测量系统的稳定性及其误差进行了分析. 实验结果表明,系统行程为100～120 mm ,系统误差小于5μm ,能满足普通光学非球面元件测量精度的要求,同时系统体现了较好的通用性和可靠性.
关键词: 运动控制;非球面;测量系统;开放式数控
关键词: 运动控制;非球面;测量系统;开放式数控
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