据报道，北方华创微电子研发的首台12英寸原子层沉积ALD设备成功进驻了上海集成威廉希尔官方网站 研发中心有限公司。以参与公开竞标方式为集成威廉希尔官方网站 芯片生产线再添助力。
近日，由北方华创下属子公司北方华创微电子自主研发的国内首台12英寸原子层沉积（AtomicLayerDeposition，ALD）设备进驻上海集成威廉希尔官方网站 研发中心。北方华创微电子为国产高端装备在先进集成威廉希尔官方网站 芯片生产线的应用再添新秀。
ALD设备是先进集成威廉希尔官方网站 制造工艺中必不可少的薄膜沉积设备，ALD工艺具有工艺温度低、薄膜厚度控制精确及台阶覆盖率高等优点。在集成威廉希尔官方网站 特征线宽发展到28纳米节点后，ALD工艺应用日益广泛。北方华创微电子自2014年开始布局ALD设备的开发计划，历时四年，成功推出中国首台应用于集成威廉希尔官方网站 领域的量产型单片ALD设备——PolarisA630，应用于沉积集成威廉希尔官方网站 器件中的高介电常数和金属栅极薄膜材料，设备的核心技术指标达到国际先进水平。
此次，北方华创微电子PolarisA630 ALD设备以参与公开竞标方式，成功进驻上海集成威廉希尔官方网站 研发中心有限公司，同时中标的产品还有北方华创微电子集成威廉希尔官方网站 AlPad工艺的eVictorA1030物理气相沉积系统。至此，北方华创微电子已有硅刻蚀机、单片退火设备、HardmaskPVD、AlPadPVD、单片清洗机、立式炉、ALD等集成威廉希尔官方网站 设备应用于28-14纳米工艺制程，扩展了国产高端装备在集成威廉希尔官方网站 先进制程的配套应用范围。