MEMS加速度计性能测评
今日头条
1151人已加入
描述
本文介绍了微机电系统(MEMS)加速度计的多项特性，它们使得该技术对状态监控应用极具吸引力。本文通过回顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。
对MEMS工艺技术的投资加上设计创新，已大大改善MEMS性能，使得MEMS足以成为更广泛状态监控应用的可行选择。采用专门化MEMS结构和工艺技术，现在已实现谐振频率高达50 kHz、噪声密度低至25 g/‑Hz的加速度计。通过精心设计的信号调理电子威廉希尔官方网站 ，可以充分发挥此类新型加速度计的低噪声优势。
| SiA202 | 参数 | 备注 | 单位 | 最小值 | 典型值 | 最大值 |
| 量程 | g | ±2 | |||
| 非线性 | IEEE Norm , %全量程 | % | 0.3 | 1.0 | |
| 频率响应 | -3dB | Hz | 200 | ||
| 谐振频率 | 过阻尼 | kHz | 1.4 | ||
| 振动整流误差 | 均值频率 [50Hz , 2kHz] | µg/g2 | 1300 | ||
| 噪声 | 频带内 | µg/√Hz | 7 | ||
| 分辨率 | @1Hz | µg rms | 7 | ||
| 启动响应时间 | 工作延时运动一次 | µs | 40 | ||
| 偏值（K0）温度系数 | 测定范围[-40℃， 85℃] | µg/℃ | 75 | ||
| 综合偏值（K0）误差 | 温度范围[-40℃， 85℃] | mg | 0.14 | ||
| 标度因数（K1）温度系数 | 测定范围[-40℃， 85℃] | ppm/℃ | 20 | 120 | 220 |
| 综合标度因数（K1） | 温度范围[-40℃， 85℃] | mV/g | 1330 | 1350 | 1370 |
| 温度传感输出电压@20℃ | V | 1.20 | 1.23 | 1.26 | |
| 温度传感灵敏度 | mV/℃ | -4.0 | |||
| 复位阈值电压 | 低电平有效 | %VDD | 20 | ||
| 工作电压 | V | 3.2 | 3.3 | 3.4 | |
| 工作电流 | mA | 2.3 | 4 |
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
评论(0)
发评论
-
qdznkj1815
2022-08-22
0 回复 举报http://house.china.com.cn/sousou/%25C9%25CF%25B7%25D6%252C%2B%25C3%25E5%25B5%25E9%25B9%25FB%25B2%25A9%25B6%25AB%25B7%25BD%25D3%25E9%25C0%25D6B2024.cN_62s.htm http://house.china.com.cn/sousou/%25D4%25DA%25CF%25DF%252C%2B%25C3%25E5%25B5%25E9%25B0%25EB%25C9%25BD%25BC%25AF%25CD%25C5%25B6%25B7%25C5%25A3B2024.cN_80s.htm http://house.china.com.cn/sousou/%25C0%25CF%25BD%25D6%252C%2B%25C3%25E5%25B5%25E9%25D3%25F1%25CF%25E9%25D3%25E9%25C0%25D6B2024.cN%252C%25BB%25B3%25BB%25AF%25B8%25DF%25D0%25A3_2s.htm http://house.china.com.cn/sousou/%25C9%25CF%25B7%25D6%252C%2B%25C3%25E5%25B5%25E9%25C3%25E5%25B1%25B1%25D3%25E9%25C0%25D6B2024.cN_52s.htm http://house.china.com.cn/sousou/%25C9%25CF%25CF%25C2%25B7%25D6%252C%2B%25C3%25E5%25B5%25E9%25BB%25AA%25C4%25C9%25D3%25E9%25C0%25D6%25B9%25AB%25CB%25BEB2024.cN%252C%25B8%25A3%25D6%25DD%25CE%25C0%25C9%25FA%25BE%25D6_2s.htm 收起回复
-
MEMS加速度计性能已臻成熟2018-10-23 0
-
MEMS加速度计性能成熟2018-10-29 0
-
数据说话，今非昔比的MEMS加速度计你真的了解吗？2018-11-01 0
-
详解状态监控的MEMS加速度计2019-07-17 0
-
MEMS加速度计如何选择2019-07-25 0
-
MEMS加速度计怎么选择？2019-08-13 0
-
2227-050加速度计模块2021-05-28 0
-
1527J-010加速度计2021-05-28 0
-
三维MEMS加速度计的性能测试方法与分析2009-11-14 1063
-
MEMS加速度计的概念，MEMS加速度计的原理2020-06-01 4484
-
MEMS加速度计应用前景分析2020-04-26 1879
-
加速度计的安装方法分享2022-04-16 5417
-
如何扩展MEMS加速度计的带宽2022-04-21 4179
-
mems加速度计的量程是指什么2023-12-15 1739
全部0条评论
快来发表一下你的评论吧 !
