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微螺旋电极电化学加工微通孔的研究资料详细说明

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:10.51 MB | 2020-05-07

西安安泰电子

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　　在微细通孔电化学微加工中，由于电解液更新困难而引起的加工过程的不稳定性一直是一个尚未解决的问题。因此，本文采用微螺旋电极与喷射电解液相结合的方法，对微细通孔的电化学微细加工进行了研究。借助于微螺旋电极的高速旋转及其螺旋形状，可以搅拌内部电解液，而外部喷射电解液可以沿螺旋槽流入孔内，有效地刷新电解液，从而提高电解金属锰的加工稳定性。首先，研究了工艺参数对无导电掩模微螺旋电极在电解金属锰中制备微通孔的影响。在优化工艺参数的基础上，成功地获得了入口尺寸为121.6μm、出口尺寸为114.9μm的微孔。此外，本文还尝试用涂有非导电掩膜的微螺旋电极来减小杂散腐蚀的不良影响。结果表明，在脉冲频率较低（《1khz）的条件下，涂在微螺旋电极表面的非导电掩模可以显著提高加工精度，但随着脉冲频率的增加，其良好的防杂散腐蚀效果逐渐减弱

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