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3d光学轮廓仪测微光学器件应用及其重要意义

消耗积分:0 | 格式:docx | 大小:651.61 KB | 2024-01-02

中图仪器
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微光学器件是指尺寸在微米到毫米级别的光学元件，其尺寸比传统光学器件小很多。微光学器件利用了微纳加工技术，将光学器件的功能集成到微米尺寸的芯片中，具有小型化、集成化、高效率、低成本等特点。微光学器件同时具备纳米尺度的轮廓起伏变化和超光滑且透明的特点，该特点导致的测量需求，3d光学轮廓仪(白光干涉仪)能满足。

3d光学轮廓仪通过利用白光的干涉和衍射现象，能够对微小的表面高度差异进行精确测量，并得出精准的尺寸和形态数据。对于超光滑透明微光学器件的测量来说，3d光学轮廓仪不仅具备高精度和高分辨率的特点，还能够快速、无损地获得物体的三维形貌信息。

 

3d光学轮廓仪：超光滑透明微光学器件测量的利器

3d光学轮廓仪用于测量微光学器件应用案例

为获得更好的光学处理效果，需对玻璃或树脂等光学材料结构进行微纳工艺加工，如时下流行的投影仪中匀光用的激光扩散片，还有各类组成特殊图案的衍射元件，工业用光栅、特殊目的的光学器件。

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