近十年来，MEMS的研究进展非常迅速，在汽车、信息、航空、航天等领域得到了广泛的应用。同时，MEMS CAD软件研究也取得了长足的进步。目前的商用MEMS CAD系统一般包括三个方面的设计功能：系统级设计、器件级
仿真、工艺模拟和版图设计。在工艺模拟功能方面，目前的商业软件，虽然都支持三维工艺模拟，但是工艺的模拟和实现都是比较简单和理想化的，并且缺乏工艺设计能力。而目前很多MEMS研究人员对工艺的了解有限，工艺设计方案漏洞多，很难获得达到设计要求的MEMS器件和系统。因此，加强工艺设计是当前MEMS设计中要解决的首要问题。
本文所提出的IMEE系统，是一种以一个工艺为主线来贯穿整个设计过程，能够实现MEMS工艺设计、在线模拟和其他器件性能分析、版图设计的具有自主知识产权的MEMS CAD系统。它重点解决了MEMS设计与工艺脱节的问题，目标是开发万元量级的完整的MEMS CAD系统，为广大国内外用户降低设计门槛。另外，该系统采用的是跨平台开发，既适用于UNIX也适用于Windows操作系统，兼容其他MEMS CAD工具软件，如L-EDIT、ANSYS等，还支持用户自主扩展其他功能模块。
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