半导体技术天地

郑小花

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如何提高炉管CV通过率？

炉管CV经常可动电荷超规范，甚至刚清洗炉管后也这样，咨询CV 、DCE吹扫流程。

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回帖（1）

從此以後

2021-6-23 14:23:30

石英管，还是SIC管啊，我这面做的，DCE吹扫一般1100度湿氧+DCE 2小时

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