Sentaurus工艺模拟自动被杀死？

我最近在做SRAM的仿真模拟，
用的是Sentaurus TCAD套件中的Sprocess，进行工艺仿真。
但是一直遇到一样的问题，仿真跑到一半就自动停止了，并提示了如下错误：
Error: Child process with pid '5467' got the signal 'SIGKILL' (kill signal)
***决！