非接触瞬间扫描形状
- 不会损伤目标物
- 纳米级别也可准确测量
- 透明体和坡度大的目标物也可测量
分析
希望了解的表面“差异”一目了然
- 定量化微小形状
- 轻松比较多个样品
- 粗糙度分析
三重扫描方式解决“难以测量”的难题
可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。
即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。
此外，如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。
连高度差较大的凹凸处和大范围区域也能测量
扫描区域50 mm见方。
凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。
只需一台设备，即可同时掌握整体形状和局部形状。