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集成光子制备工艺的研究

华林科纳半导体设备制造 来源:华林科纳半导体设备制造 作者:华林科纳半导体设 2022-02-24 14:55 次阅读

摘要

本文主要研究集成光子的制备工艺。基于III-V半导体的器件, 这项工作涵盖了一系列III-V材料以及各种各样的设备。 最初,设计,制造和光学表征研究了铝砷化镓波导增强光学非线性相互作用。 基于我们的研究结果,我们提出了一种新型的AlGaAs集成非线性光学波导。波导是集成光子器件中极具吸引力的元件,因为它们控制光线的空间、光谱和色散特性。

集成光子学

光子学,也被称为光学,是生成的科学和工程,应用光子的控制和检测; 例如制造业、成像、下一代显示、国防技术、生物识别安全、传感、图像处理、照明、通信、数据存储、天文学计算等等。

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审核编辑:符乾江

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