详解MEMS微传感器的工作原理
本文是关于MEMS微传感器的工作原理最全面的内容，分为两部分，共计212页PPT内容。 主要讲解了MEMS微传感器的概念、分类，基本敏感原理介绍，MEMS微传感器实例、MEMS微执行器分类、基本致动方式介绍、微执行器实例等内容，对MEMS微传感器的相关知识介绍得很全面，推荐需要深入了解MEMS微传感器工作原理的伙伴分享、收藏。
审核编辑黄宇
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
传感器
+关注
关注
2550文章
51071浏览量
753341 -
mems
+关注
关注
129文章
3929浏览量
190602
发布评论请先 登录
相关推荐
不同类型MEMS传感器的比较 MEMS传感器的工作原理
由于MEMS传感器测量的外部信号不同，不同类型的MEMS传感器技术差异较大。MEMS惯性传感器主
发表于 06-13 09:08
•7323次阅读
MEMS传感器的分类
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理威廉希尔官方网站
和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的信号进行分析、处
发表于 10-11 16:21
MEMS传感器四大应用领域详解
和热电偶式等形式。其中，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点，是MEMS微加速度计中的主流产品。微陀螺仪微陀螺仪是一种角
发表于 11-07 10:56
高压传感器的工作原理以及它的作用分析
高压传感器工作原理：高压传感器通常采用的国外贴片工艺技术，工作原理是被测压力的压力直接作用于传感器的感应片上，使感应片产生与压力成正比的
MEMS传感器的工作原理和应用
MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical System），是集微传感器、微执行器、微机械结构、
微压传感器：工作原理与应用
来源：传感器专家网 微压传感器以其高精度、高灵敏度和广泛的应用范围，成为众多行业不可或缺的测量工具。本文将深入探讨微压传感器的
工商网监
评论