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激光干涉仪可以完成哪些测量?

中图仪器 2022-07-04 16:33 次阅读

激光干涉仪可以完成哪些测量?中图仪器SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。

pYYBAGJnwE-AWfOhAAGou60fDTk871.jpg中图仪器SJ6000激光干涉仪

产品功能

  • 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
  • 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
  • 可实现对机床回转轴的测量与校准;
  • 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
  • 具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
  • 支持手动或自动进行环境补偿。

测量应用

poYBAGLCndqAKluaAAS6MmD5y-A856.png斜床的倾斜轴测量pYYBAGLCnbmAUe_XAAXAvhAb4BQ216.png传感器线性精度测量poYBAGLCncqAaKF0AAaVLbjditc081.png导轨直线度检测poYBAGLCndKAYZQfAAPbKAfVdZo818.png回转轴精度测量pYYBAGLCneGAR8sHAAOHunofH_M343.png自动化设备精度测量

技术参数

产品型号:SJ6000
产品名称:SJ6000激光干涉仪
稳频方式:双频激光热稳频
稳频精度:0.05ppm
线性测量精度:0.5ppm(0-40)℃
线性测量距离:(0-80)m(无需远距离线性附件)
角度测量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
测量分辨力:1nm
动态采集频率:50KHz
预热时间:≤6分钟
工作温度范围:(0-40)℃
环境温度范围:(0-40)℃,环境湿度:0-95%
主要特点:应用范围广、测量精度高、操作方便
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

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