氦质谱检漏仪电子束***检漏
上海伯东客户某***生产商, 生产的电子束*** Electron Beam Lithography System 最大能容纳 300mmφ 的晶圆片和 6英寸的掩模版, 适合纳米压印, 光子器件, 通信设备等多个领域的研发及生产. 经过伯东推荐采购氦质谱检漏仪 ASM 310 用于电子束***腔体检漏.
电子束***腔体需要检漏
电子束***内部腔体使用分子泵, 离子泵抽真空, 通过全量程真空计 PKR 251 监测真空度, 腔体需要维持真空度在 10-9 Pa 至 10-11 Pa, 如果腔体有漏导致真空度不够, 会影响设备性能, 因此需要对整个腔体进行泄漏检测.
电子束***腔体检漏方法
上海伯东推荐客户使用前级泵为干泵的便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 进行泄漏检测.
当真空度达到 15 hPa 时, 在腔体周围怀疑有漏的位置吹扫一定量的氦气, 同时启动便携式检漏仪 ASM 310 开始检漏, 真空模式下, 设置漏率值 1x10-13 Pa m3/s, 若有检测到实际漏率大于设定值, 检漏仪会报警提醒同时操作界面显示漏率值, 从而可以定位定量判断腔体泄漏位置, 完成整个腔体的泄漏检测.
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪最轻便紧凑的产品
对氦气的最小检测漏率
真空模式 5E-13 Pa m3/s
吸枪模式 1E-8 Pa m3/s
对氦气的抽气速度 1.1 l/s
鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解电子束***检漏, 请联络上海伯东叶女士 分机 107
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
光刻机
+关注
关注
31文章
1150浏览量
47395 -
检漏
+关注
关注
0文章
11浏览量
6811
发布评论请先 登录
相关推荐
气密泄漏别发愁，有气密性检漏仪解困
在日常生活和工业生产里，气密泄漏这事儿，就像个“小恶魔”，时不时冒出来捣乱，带来一箩筐的麻烦，不过别急，如今有了气密性检漏仪这位“大救星”，啥难题都能迎刃而解！先唠唠咱家里常见的物件，像那冬天用
常见氦质谱检漏仪故障及解决方法
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。
DL-T846.6-2004高电压测试设备通用技术条件第6部分:六氟化硫气体检漏仪
DL-T846.6-2004高电压测试设备通用技术条件第6部分-六氟化硫气体检漏仪musen
发表于 10-21 11:31
•0次下载
电离法的HDWG型SF6气体定量检漏仪使用说明
HDWG型SF6气体定量检漏仪其原理为：空气中含有的六氟化硫气体浓度变化时，该混合气体在高频电磁场的作用下其电离的程度也将不同，通过检测电离度即可反映六氟化硫浓度。采
氦质谱检漏仪 ASM 340W 锂电池盖帽(盖板)检漏系统
上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340W 适用于动力电池行业和汽车行业的检漏系统, 提供锂电池盖帽(盖板)
HDWG型SF6六氟化硫检漏仪的操作简述
HDWG型SF6六氟化硫检漏仪是华顶电力升级后产品，产品比原来基础上升级体积更小，测量单位升级两种显示模式。对您的选择表达我们由衷的谢意。希望本说明书能给您带来方便。如果您在查阅此说明书后还不
谈谈密封检漏仪在食品行业中的应用效果
在食品行业，包装的密封性直接关系到产品的保质期、口感和安全性，是保证食品质量的重要组成部分。密封性检漏仪作为现代食品生产线的关键设备，其应用效果极其显著，为食品安全和质量提供了坚实的保障。首先，密封
红外SF6浓度检漏仪
产品概述 KDWG-III高精度SF6气体检漏仪（手持式）是测量SF6气体泄漏的新产品，采用进口传感器，它具有灵敏度高、稳定性好、响应速度快、操作简便、移动范围大，可迅速、准确的定性和定量检测SF6
密封检漏仪的作用-岳信仪器气密性检测仪
在现代工业生产中，产品的密封性非常重要。微小的泄漏可能会导致产品质量下降，甚至造成安全隐患。为了解决这个问题，我们推出了先进的密封检漏仪来保护您的产品质量。首先，它的作用：精确检测:密封检漏仪采用
保证负压密封检漏仪的精度和可靠性的方法
负压密封检漏仪是一种广泛应用于包装检测领域的仪器，用于检测包装的密封性能。为了保证检漏仪的精度和可靠性，需要采取一系列措施。一、选择高精度传感器负压密封检漏仪的核心部件是传感器，传感器的精度决定了
工商网监
评论