资料介绍
摘要:就超深亚微米集成威廉希尔官方网站
中高K栅介质、金属栅、cU/低K互连等相关可靠性热点问题展开讨论.针对超深亚微米集成 威廉希尔官方网站
可靠性问题.提出可靠性设计、生产过程的质量控制、可靠性评价与失效分析是集成威廉希尔官方网站
可靠性综台评价与保证构核心思想,为产品可靠性评价与保证提供指导性参考。
关键词:超深亚微米集成威廉希尔官方网站 ;可靠性;高栅介质;金属栅;Cu/低K互连
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