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【摘要】:传统光束质量测量装置不能有效测量脉冲激光的M~2因子。为实时检测脉冲激光M~2因子,将正交散焦光栅和短焦透镜密接配合使用,同时测量待测光束9个不同位置处的光强分布,用二阶矩方法计算束宽,并经双曲线拟合得到被测光束的~2因子。根据高斯光束的薄透镜变换理论,分析了被测光束束腰宽度和束腰位置变化对测量精度的影响,得到了正交散焦光栅M~2因子测量系统对测量参数要求低、动态工作范围大等结论。实验测量了1064 nm Nd:YAG固体脉冲激光器单个脉冲的M~2因子、脉冲之间的M~2因子变化和光束M~2因子随电压的整体变化情况。结果表明此系统实现了对脉冲激光M~2因子的测量,并能实时检测激光工作过程中的M~2因子变化。
【关键词】:激光技术;;脉冲激光光束质量;;M~因子测量;;正交散焦光栅 【DOI】:CNKI:SUN:GXXB.0.2010-03-045 【正文快照】:1引言在激光加工和定向能技术等应用领域中,光束质量变化对激光应用具有很大的影响。膨因子是衡量激光光束质量的一项重要指标「‘一3〕,因同时考虑了束宽和远场发散角对激光束的影响,被广泛应用于光束质量检测中[4,5〕。当前对连续激光的砰因子检测已较为成熟,但对脉冲激 |
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