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光刻法制作叉指电极,叉指电极的图案用什么软件绘制,以及是否有绘制教程

光刻法制作叉指电极,叉指电极的图案用什么软件绘制,以及是否有绘制教程,刚接触这个,也没有师兄,希望大佬来指导一下
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