表面欠陥検査装置「魔鏡」
本设备应用魔镜的原理，高灵敏度地检查镜面样品的表面状态。可以高灵敏度地检测样品表面上的不均匀性，翘曲，抛光不均匀性等，检测结果在监视器上用亮度（白）和暗度（黑）表示。检查可以在非接触和非破坏性的情况下进行，并且可以立即确认样品的表面状态。这是一款使用免维护光学系统，可操作性优异的设备。
原理： 基于事前所设定的缺陷判断的阈値，使所取得的图像，缺陷种类的判别，缺陷部位的可视化，位置坐标算出，缺陷尺寸表示等进行自动解析，可在界面针对数据，对缺陷进行逐一观测。
特長 用途
１．所有的表面状态都是即时的。 ○镜面晶圆的表面检查
２．我们的光学系统对应是1级的。 ○滑移线的检查
３．光学系统是免维护的。 ○玻璃基板的检测
４．根据检查内容，检测灵敏度/检测放大率 ○其他镜面基板的检测
○Film等的基板以外的检查
５．根据每个样品和检查位置定制最佳光学系统。