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电子发烧友网>制造/封装>半导体设备行业跟踪报告:ALD技术进行薄膜沉积工艺优势

半导体设备行业跟踪报告:ALD技术进行薄膜沉积工艺优势

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2023-06-29 16:58:37404

半导体前端工艺沉积工艺

在前几篇文章(点击查看),我们一直在借用饼干烘焙过程来形象地说明半导体制程 。在上一篇我们说到,为制作巧克力夹心,需通过“刻蚀工艺”挖出饼干的中间部分,然后倒入巧克力糖浆,再盖上一层饼干层。“倒入巧克力糖浆”和“盖上饼干层”的过程在半导体制程中就相当于“沉积工艺”。
2023-06-29 16:56:17830

详解半导体前端工艺沉积工艺

和在刻蚀工艺中一样,半导体制造商在沉积过程中也会通过控制温度、压力等不同条件来把控膜层沉积的质量。例如,降低压强,沉积速率就会放慢,但可以提高垂直方向的沉积质量。因为,压强低表明设备内反应气体粒子
2023-07-02 11:36:401214

ALD是什么?半导体制造的基本流程

半导体制造过程中,每个半导体元件的产品都需要经过数百道工序。这些工序包括前道工艺和后道工艺,前道工艺是整个制造过程中最为重要的部分,它关系到半导体芯片的基本结构和特性的形成,涉及晶圆制造、沉积、光刻、刻蚀等步骤,技术难点多,操作复杂。
2023-07-11 11:25:552902

技术前沿:原子层沉积ALD介绍

薄膜沉积是指在基底上沉积特定材料形成薄膜,使之具有光学、电学等方面的特殊性能。
2023-07-13 09:10:487776

半导体前端工艺沉积——“更小、更多”,微细化的关键

半导体制程中,移除残余材料的“减法工艺”不止“刻蚀”一种,引入其他材料的“加法工艺”也非“沉积”一种。比如,光刻工艺中的光刻胶涂敷,其实也是在基底上形成各种薄膜;又如氧化工艺中晶圆(硅)氧化,也需要在基底表面添加各种新材料。那为什么唯独要强调“沉积工艺呢?
2023-08-17 15:33:27370

ALD技术工艺原理、优势及应用

面对真空镀膜多元的应用市场,镀膜技术的发展也从传统的蒸发、电子束热蒸发技术,相继发展出PECVD、ALD原子层沉积技术、磁控溅射技术等等,技术地位日益凸显。本报告嘉宾来自国内半导体设备龙头企业无锡
2023-10-18 11:33:442992

半导体检测设备行业专题报告.zip

半导体检测设备行业专题报告
2023-01-13 09:06:485

半导体行业深度报告.zip

半导体行业深度报告
2023-01-13 09:06:5112

半导体设备系列研究-薄膜沉积设备.zip

半导体设备系列研究-薄膜沉积设备
2023-01-13 09:06:526

行业专题报告_半导体检测设备行业专题报告.zip

行业专题报告_半导体检测设备行业专题报告
2023-01-13 09:07:464

半导体前端工艺(第五篇):沉积——“更小、更多”,微细化的关键

半导体前端工艺(第五篇):沉积——“更小、更多”,微细化的关键
2023-11-27 16:48:42217

半导体制造之薄膜工艺讲解

薄膜沉积技术主要分为CVD和PVD两个方向。 PVD主要用来沉积金属及金属化合物薄膜,分为蒸镀和溅射两大类,目前的主流工艺为溅射。CVD主要用于介质/半导体薄膜,广泛用于层间介质层、栅氧化层、钝化层等工艺
2023-12-05 10:25:18997

一文详解金属薄膜沉积工艺及金属化

金属栅极的沉积方法主要由HKMG的整合工艺决定。为了获得稳定均匀的有效功函数,两种工艺都对薄膜厚度的均匀性要求较高。另外,先栅极的工艺对金属薄膜没有台阶覆盖性的要求,但是后栅极工艺因为需要重新填充原来多晶硅栅极的地方,因此对薄膜的台阶覆盖 性及其均匀度要求较高。
2023-12-11 09:25:31659

化学气相沉积与物理气相沉积的差异

在太阳能电池的薄膜沉积工艺中,具有化学气相沉积(CVD)与物理气相沉积(PVD)两种薄膜沉积方法,电池厂商在沉积工艺中也需要根据太阳能电池的具体问题进行针对性选择,并在完成薄膜沉积工艺后通过
2023-12-26 08:33:01312

半导体零部件行业深度报告

半导体设备主要应用于集成威廉希尔官方网站 的制造和封测环节,可细分为晶圆制造设备(前道设备)和封装、测试设备(后道设备)。其中,前道设备主要有光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、CMP设备、清洗机、前道检测设备和氧化退火设备,后道设备主要分为测试设备和封装设备
2023-12-27 10:57:48281

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