能迪科技®净化空调控制系统​促进中国半导体材料国产化进程

电子工业是中国经济现代化不可或缺的支撑力，以集成威廉希尔官方网站 为代表的半导体芯片制造业是电子工业发展的基础和核心。芯片性能与工艺技术和设计的严格性、合理性和先进性密切相关，芯片的可靠性和成品率与加工制造环境的洁净度和材料的纯度有关，特别是随着纳米加工技术的不断发展和广泛应用，超净环境和超纯材料已成为半导体工业进步和创新的关键。

洁净厂房的标准

《洁净厂房设计规范》GB50073-2013年制定：无尘室空气悬浮颗粒浓度可控，减少室内滞留和产生的粉尘颗粒数量，净化区温湿度等相关参数可控。根据空气中的不同工艺，需要不同的净化等级和施工标准≥0.5μm/0.1μm洁净室的颗粒数分为十级、百级、千级、万级、十万级。

国内现行标准一般有：GB/T16292-1996、BS5595、FS209E、ISO14644-1、欧盟GMP等等，根据这些要求测量和计算特定颗粒，对洁净室和洁净区域的洁净度进行分级。根据生产工艺和机械设备的实际需要，合理选择最佳净化水平，降低施工成本，资源能耗是净化设计的基本目标。

净化空调控制

半导体厂房净化空调控制系统是洁净车间建设的重要组成部分。工厂各种生产工艺的正常运行依赖于高质量的洁净环境。能迪科技canlead®净化空调控制系统是一套智能中央空调自动控制系统（PLC）、自动控制车间的温度、湿度和压力等，使其稳定高效地运行，从而满足洁净车间的设计要求。

控制净化车间湿度和压力

净化车间的湿度和压力主要取决于新风机组，采用新风机组PLC控制，整个空气处理过程根据室外空气温度分为三个区域：当室外空气湿度为9.72g/kg干空气时，空调机组冷盘管会除湿空气，然后根据冷却温度调整电动水阀的开度，确保空气露点值稳定；室外气体含湿量小于9.72g/kg，湿球温度大于9.53℃当空气冷却加湿时，通过空气露点温度值调整制冷盘管电动水阀的开度，控制加湿器的加湿量；当室外空气的绝对湿度小于9.72g/kg，湿球温度小于9.53℃加热和加湿空气时，通过出风露点温度自动调节加热盘管电动阀的开度PLC控制器根据出风空气的含湿量值，控制加湿器的加湿量。具体控制参数应根据各实例和工艺要求进行适当调整，尽可能找到满足各工艺要求、最节能的控制点。

新风机组压差和加湿器控制

根据送风主管压力信号，通过变频器调整风机转速，确保送风主管静压；通过调整相应的新风支管电动风阀，实现室内各区域所需的压差值。

车间温度控制

车间温度主要由干盘管承担，PLC控制器根据洁净室各区域温度传感器的平均值，调整不同区域干盘管电动阀的开度，确保该区域温度的恒定值。自动控制在满足工艺需求的同时，尽可能及时调整和降低能耗。

推进中国半导体材料国产化

在国家鼓励半导体材料国产化的政策指导下，我国半导体材料制造商不断提高半导体产品的技术水平和研发能力，以及能迪科技canlead®净化空调控制系统将成为半导体行业快速发展的助推器，逐步打破国外半导体制造商的垄断格局，促进中国半导体材料国产化进程。

审核编辑黄昊宇