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二次离子质谱分析仪 (SIMS)

2018-9-12 09:42:04 3911 失效分析

0 二次离子质谱分析仪 (SIMS) 二次离子质谱分析仪 (Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS)主要是利用离子高灵敏度的特性，针对样品的表面微污染、掺杂与离子植入的P/N浓度定量分析，以及P/N接口扩散的研究。广泛应用于半导体、LED，以及薄膜材料的微量检测分析上。 iST宜特检测的SIMS高分辨率，除了针对离子植入、掺杂量的P/N浓度定量分析外，还可进行P/N接口扩散的深度分析(Junction Depth)，以及BULK材料中微量元素的浓度分析。为您精准控制半导体/LED制程的参数，以维持元件/磊晶稳定性。 iST宜特检测服务如下：高质量解析力(M/ΔM)：>20,000 高纵深分辨率：小于2nm/decade 超高真空度：低于1E-9mbar (Ion on) 极佳侦测极限：可达1.0E13atom/cm3(ppba)以下(Si 基材之As掺杂) 0
2018-9-12 09:42:04　　评论淘帖0 举报相关推荐 • SIMS二次离子质谱介绍 1216 • 氮化镓中铬含量的二次离子质谱分析方法研究 671 • 频谱分析仪软件\|频谱分析仪二次开发程控NS-Analyzer 1940 • 如何进行实时频谱分析仪二次开发——三种不同开发环境的部署 1053 • 频谱分析仪与信号分析仪的区别 497 • 什么是频谱分析仪，频谱分析仪的工作原理是什么，频谱分析仪怎样使用？ 16461 • 锂离子二次电池材料特点分析 825 • Keysight 频谱分析仪（信号分析仪） 476 • 光谱分析仪组成_光谱分析仪原理_光谱分析仪的应用 3520 • 和晟仪器助力东华大学热分析仪二次改造升级 363