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一体化半导体参数测试系统FS-Pro介绍

2020-7-1 10:02:55 3506 测试系统测试设备

0 　　FS-Pro系列是业界唯一的人工智能驱动的一体化半导体参数测试系统，单台设备具备IV， CV 与 1/f noise 测试能力，内建的AI算法加速技术全面提升测试效率。业界低频噪声测试黄金系统9812DX和 FS-Pro 的融合使两个产品不但功能更加完整，性能也都有大幅提升。　　FS-Pro可广泛应用于半导体典型器件、LED材料、二维器件、金属材料、新型先进材料与器件测试。FS-Pro可支持达上百个通道。内置测量软件提供数百个预定义的测试模板和功能，实现即插即用体验。　　基于在产线测试与科研应用方面的优异表现，FS-Pro不仅被多家全球领先的设计公司和半导体代工厂，IDM和设计公司采用，在学术界也受到广泛认可，已被数十所大学及研究机构所采用。　　产品优势　　一体化：业界首个集成IV测试、CV测试、低频噪音（1/f noise）于单台仪器中，无需换线和更新连接即可完成全部低频参数化表征。　　超快速：FS-Pro系列较传统半导体参数测试系统，其测试速度高达10倍，业界首创AI测试加速卡，体验强大速度提升，同时保持测试精度。　　模块化架构：PXI模块化架构，可轻松扩展支持生产测试（如 WAT），辅以其高速和完整特性，可以大幅加速量产测试。　　操作便捷：内置测量控制软件LabExpress™，拥有直观的用户图形界面，仅需点击几下鼠标就可以完成强大的器件特性分析功能。可选工业级测试软件FastLab，支持自动探针台，第三方仪器和SRAM，可靠性测试等工业测试需求。　　宽量程：高达200V，1A（脉冲3A），0.1fA的灵敏度。　　建模仿真：可选内置器件建模与仿真软件（BSIMProPlus/MeQLab/NanoSpice），形成测试，建模仿真系统。　　作为9812DX的增强选件：作为内建SMU模块无缝适配9812DX和NoiseProPlus软件，其更低的SMU噪声和更快的DC测试速度显著加速了9812DX的测试速度　　产品应用　　可应用于半导体典型器件、LED材料、二维器件、金属材料、新型先进材料与器件测试。FS-Pro可支持达上百个通道。内置测量软件提供数百个预定义的测试模板和功能，实现即插即用体验。　　IV电流电压测试。　　CV电容电压测试。　　1/f noise低频噪音测试。　　Pulse脉冲生成。　　技术指标　　IV电流电压测试　　高精度参数测量，最大电压200V，分辨率0.1fA，电流测量精度30fA，最大直流电流1A，脉冲电流3A。　　CV电容电压测试　　内建CV频率范围10Hz~10kHz，最小可测电容20fF，直流偏置电压200V。外置LCR提供高精度（10fF@2MHz，内建直流偏置40V）和高带宽（8MHz）两个选项，同时软件支持第三方工业主流LCR，如E4980A，428x系列等。　　1/f noise低频噪音测试　　带宽：0.001Hz-100KHz 　　噪音分辨率： 2e-28A2/Hz 　　测量速度：《10秒钟/偏置（f》0.5Hz）　　DUT最小阻抗：500欧姆　　DUT最大直流偏置和电流：200V， 1A 　　Pulse脉冲生成功能　　电压范围±200V，最小脉宽50us，最小分辨率100nV 0
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