“元器件”传感器和仪表元器件是仪器仪表与自动化系统最基础元器件之一。“元器件”传感器和仪表元器件具有服务面广、品种繁多、需求量大等特点,其技术水平和产品质量的提高,将为我国制造业信息化奠定基础。
现状与问题
我国“元器件”传感器和仪器仪表的技术和产品,经过发展,有了较大的提高。全国已经有1600多家企事业单位从事“元器件”传感器和仪表元器件的研制、开发、生产。但与国外相比,我国“元器件”传感器和仪表元器件的产品品种和质量水平,尚不能满足国内市场的需求,总体水平还处于国外上世纪90年代初期的水平。存在的主要问题有:
(1)科技创新差,核心制造技术严重滞后于国外,拥有自主知识产权的产品少,品种不全,产品技术水平与国外相差15年左右。
(2)投资强度偏低,科研设备和生产工艺装备落后,成果水平低,产品质量差。
(3)科技与生产脱节,影响科研成果的转化,综合实力较低,产业发展后劲不足。
战略目标
到2020年,“元器件”传感器及仪表元器件领域应争取实现三大战略目标:
以工业控制、汽车、通讯、环保为重点服务领域,以“元器件”传感器、弹性
元件、光学元件、专用
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为重点对象,发展具有自主知识产权的原创性技术和产品
;---以MEMS工艺为基础,以集成化、智能化和网络化技术为依托,加强制造工艺和新型“元器件”传感器和仪表元器件的开发,使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平
;---以增加品种、提高质量和经济效益为主要目标,加速产业化,使国产“元器件”传感器和仪表元器件的品种占有率达到
70%~80%,高档产品达60%以上。
发展重点
“元器件”传感器技术
(1)MEMS工艺和新一代固态“元器件”传感器微结构制造工艺:深反应离子刻蚀(DRIE)工艺或IGP工艺;封装工艺:如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型“元器件”传感器:如用微硅电容“元器件”传感器、微硅质量流量“元器件”传感器、航空航天用动态“元器件”传感器、微“元器件”传感器,汽车专用压力、加速度“元器件”传感器,环保用微化学“元器件”传感器等。
(2)集成工艺和多变量复合“元器件”传感器微结构集成制造工艺;工业控制用多变量复合“元器件”传感器,如:压力、静压、温度三变量“元器件”传感器,气压、风力、温度、湿度四变量“元器件”传感器,微硅复合应变压力“元器件”传感器,陈列“元器件”传感器。
(3)智能化技术与智能“元器件”传感器信号有线或无线探测、变换处理、逻辑判断、功能计算、双向通讯、自诊断等智能化技术;智能多变量“元器件”传感器,智能电量“元器件”传感器和各种智能“元器件”传感器、变送器。
(4)网络化技术和网络化“元器件”传感器“元器件”传感器网络化技术;网络化“元器件”传感器,使“元器件”传感器具有工业化标准接口和协议功能。
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