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量测晶圆粗糙度有没有不需要破坏整片晶圆的实验室仪器？

2019-8-15 11:43:36 3604

0 ` 检测晶圆表面粗糙度，最常使用的是AFM(原子力显微镜)。传统的AFM样品规格需小于2cm*2cm，因此在检测时，都需破坏Wafer才能分析，却也造成这片晶圆后续无法进行其他实验分析。宜特引进了可直接放置样品最大达12吋晶圆的AFM(型号Bruker Dimension ICON，以下简称AFM ICON)，并可利用真空吸引固定样品，提升扫描时的稳定度。宜特也是两岸唯一可提供样品放置尺寸达12吋、不需破片即可进行AFM分析的实验室。新型AFM ICON，更另外提供「非接触式」的量测模式，利用原子间的凡德瓦力(van der Waals’ force)侦测表面高低起伏，取得正负10奈米以下的表面粗糙度数值。 ` 0
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