摘要:总结了制造模具的主要步骤。其中一些在过程的不同阶段重复多次。此处给出的顺序并不反映制造过程的真实顺序。
硅芯片形成非常薄(通常为 650 微米)的圆形硅片的一部分:原始晶片。晶圆直径通常为 125、150 或 200 毫米(5、6 或 8 英寸)。然而,未加工的纯硅有一个主要的电气特性:它是一种绝缘材料。因此,必须通过良好控制的工艺来改变硅的某些特征。这是通过“掺杂”硅获得的。
金属沉积过程:
蚀刻过程:
组装过程描述:
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